B1500A Agilent 半導体デバイスパラメータアナライザ/半導体特性評価システムメインフレーム

概要と特徴

Keysight B1500A (Agilent) 半導体デバイス・アナライザは、IV 測定と CV 測定の両方をサポートし、高速高電圧パルスもサポートする 10 スロット構成のモジュール式機器です。 使い慣れた Microsoft ® Windows ® ユーザー インターフェイスは、Agilent の EasyEXPERT ソフトウェアをサポートしており、デバイスの特性評価に対する新しい、より直観的なタスク指向のアプローチを提供します。 Keysight B1500A (Agilent) は、極めて低電流、低電圧で統合された静電容量測定機能を備えているため、幅広い半導体デバイスの特性評価ニーズに使用できます (IC-CAP は B1500A をサポートしています)。 また、不揮発性メモリセルの特性評価や高速デバイスの特性評価 (高度な NBTI 測定を含む) にも優れたソリューションです。

 

Keysight B1500A (Agilent) の機能と利点は次のとおりです。

●優れたIV測定性能: {{0}}.1 fA / 0.5 μVの測定分解能

● 測定機能には、シングルおよびマルチチャネル掃引、時間サンプリング、リスト掃引、準静的 CV (SMU を使用)、直接制御、および HV-SPGU 用の任意線形波形生成 (ALWG) GUI が含まれます。

● オプションの統合容量モジュールは、最大 5 MHz の CV 測定をサポートします

● オプションのポジショナベースの CV-IV スイッチング ソリューションは、0.5 µV の電圧測定分解能と 10 fA、1 fA、または 0.1 fA の電流測定分解能を備えています。

● 内蔵の半自動ウェーハプローバドライバとクイックテストモードによるプログラミング不要のテストシーケンスによる簡単なテスト自動化

● オプションの高電圧半導体パルス発生器ユニット (HV-SPGU) は、10 ns のプログラム可能なパルス幅と + /- 40 V (80 V ピークツーピーク) 出力で利用可能です。

● オプションの波形発生器/高速測定ユニット (WGFMU) は、ALWG および高速電流または電圧測定機能で利用可能です。

● 10 ns パルス IV ソリューションは、High-k ゲート誘電体および SOI (シリコン オン インシュレータ) トランジスタの特性評価に使用できます。

● クラシック テスト モードは、Microsoft ® Windows ® GUI 機能を最大限に活用してユーザー インタラクションを強化しながら、4155/4156 インターフェイスの外観、感触、用語を提供するために使用できます。

Keysight B1500A (Agilent) 半導体デバイス・アナライザの主な仕様は次のとおりです。

● 一般的な機能

o Windows ® XP Professional OSを搭載したPCベースの機器

o 電流-電圧 (IV)、容量-電圧 (CV)、パルス生成、高速 IV、および時間領域測定のためのシングルボックス ソリューション。

o ソース モニター ユニット (SMU) およびその他のモジュール タイプ (MFCMU、HV-SPGU、WGFMU) 用の 10 個のモジュール スロット *

o Desktop EasyEXPERT ソフトウェアによるオフライン データ分析とアプリケーション テスト開発

● 測定機能

o 0.1fAおよび0.5μVまでの電流電圧(IV)測定をサポート

o 準静的および中周波の静電容量電圧 (CV) 測定の両方をサポート]

o パルス IV、NBTI、RTS 測定などの幅広いアプリケーション向けに、正確な高速 IV および時間領域測定をサポートします。

o 高電力およびメモリデバイステスト用の高電圧パルス生成 (最大±40 V) をサポートします。

 

モジュール選択ガイド:

モジュールメイン	スロット	仕様
B1510A HPSMU	2	最大200V、1Aの力。 10fAの電流分解能
B1511A MPSMU	1	最大 100V、100mA の力、10fA の電流分解能
B1517A HRSMU	1	最大 100V、100mA の力、1fA の電流分解能
E5288AASU	該当なし	最大 100V、100mA の力、100aA の電流分解能
B1520A MFCMU	1	1kHz ～ 5MHz、SMU で最大 100V DC バイアス
B1525A HV-SPGU	1	最小12.5nsのパルス幅、10nsの遷移時間、3レベルPUで最大40V
B1530A WGFMU	1	最小100nsのパルス幅、10Vのピークツーピーク出力、5nsの電流または電圧測定サンプリング速度

 

 

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